MEMS圧力センサは、SOPパッケージの絶対圧モジュールとして提供可能です。特許取得済みのSOIプロセスを採用したMEMSチップにより、優れた製品の一貫性と長期安定性を実現しています。外形は海外大手メーカー製品と互換性があり、ピン互換（Pin to Pin）による代替が可能です。測定レンジはカスタマイズ対応が可能で、多様なお客様のニーズに柔軟に対応します。

製品概要

・広範囲測定：0～1000 kPaA

・圧力応答時間：0.8ms以下

・AEC-Q100認証取得済み

・出力クランプ機能はカスタマイズ可能

・高精度：±1% FS（0℃～85℃）/±1.5% FS（-40℃～130℃）

・広い動作温度範囲：-40℃～130℃

・過圧耐性：28V、逆接耐性：24V

・絶対圧／ゲージ圧／SENT出力に対応

技術仕様

応用分野

MAP / TMAP、キャニスター脱着圧力、バッテリーパック安全圧力検出